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填空題
曝光后顯影時感光的膠層沒有溶解,沒有感光的膠層溶解,這種膠為()(正/負)膠。
答案:
負
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判斷題
在LPCVD中,由于hG>>kS,即質(zhì)量轉(zhuǎn)移系數(shù)遠大于表面反應(yīng)速率常數(shù),所以,LPCVD系統(tǒng)中,淀積過程主要是表面反應(yīng)速率控制
答案:
正確
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單項選擇題
下面選項屬于主擴散的作用有()。
1.調(diào)節(jié)表面濃度
2.控制進入硅表面內(nèi)部的雜質(zhì)總量
3.控制結(jié)深
A.1
B.2
C.3
D.1、3
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