多項選擇題

背散射電子的性質(zhì)是（）

A.產(chǎn)生范圍在表層100～1000nm內(nèi)
B.產(chǎn)額隨原子序數(shù)增加而增加
C.可用于樣品的表面形貌分析
D.可用于樣品的表面成分分析
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