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【簡(jiǎn)答題】工廠中硅片(wafer)的制造過(guò)程可分哪幾個(gè)工藝過(guò)程(module)?
答案:
主要有四個(gè)部分:DIFF(擴(kuò)散)、TF(薄膜)、PHOTO(光刻)、ETCH(刻蝕)。其中DIFF又包括FURNACE(...
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柵極線的寬(該尺寸的大小代表半導(dǎo)體工藝水平的高低)做的越小時(shí),工藝的難度便相對(duì)提高。從0.35um -> 0.25um ...
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