問答題

【簡答題】簡述1990年代CMOS工藝技術特征：特征尺寸、晶圓尺寸、襯底、隔離、源漏、柵極材料、光刻光源、曝光方式（光刻機）、刻蝕、互連材料及方式等。

答案：

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