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填空題
激光加工設(shè)備主要包括電源、（）、（）、（）、（）、冷卻系統(tǒng)等部分。
答案：
激光器；光學系統(tǒng)；機械系統(tǒng)；控制系統(tǒng)
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填空題
實現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括（）、（）、（）、（）、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。
答案：
超精密加工機理與工藝方法；超精密加工機床設(shè)備；超精密加工工具；精密測量和誤差補償
