問答題

【簡答題】簡述鉭在銅互連工藝中的作用

答案： ①鉭作為銅淀積前的阻擋層，可以防止銅擴(kuò)散穿過氧化硅進(jìn)入硅襯底損壞元器件。
②鉭與鈦、氮化鈦?zhàn)钃鯇硬牧舷啾?，是?..
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答案： 挑戰(zhàn)：
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