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問答題
【簡答題】離子注入后為什么要進(jìn)行熱退火
答案：
離子注入的過程中，離子與晶格原子碰撞會使原子從晶格的束縛能中釋放出來。熱退火可以修復(fù)單晶結(jié)構(gòu)并激活摻雜物。
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問答題
【簡答題】簡述離子注入的通道效應(yīng)和減小通道效應(yīng)的方法
答案：
通道效應(yīng)：如果一個電子以正確的角度進(jìn)入通道，它只需要很少的能量就可以行進(jìn)很長的距離。
方法：
（1）...
方法：
（1）...
