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判斷題

利用高能粒子高速撞擊靶材，使大量的靶材表面原子獲得相當(dāng)高的能量而脫離靶材的束縛飛向襯底，沉積成膜，這種制膜方法稱為濺射鍍膜。

答案：正確

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