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【論述題】簡(jiǎn)述硅片表面污染的來(lái)源。
答案:
硅片表面污染的來(lái)源主要有以下幾方面:
(1)有機(jī)物沾污:包括切、磨、拋工藝中的潤(rùn)滑油脂;石蠟、松香等粘合劑;...
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答案:
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答案:
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