問答題

【簡答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應？

答案： 光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...
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問答題

【簡答題】常見的光刻對準曝光設備有？
答案：

接觸式光刻機；接近式光刻機；掃描投影光刻機；分步重復投影光刻機；步進掃描光刻機。
問答題

【簡答題】常見的曝光光源？
答案：

紫外光源、深紫外光源。
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