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問答題
【簡答題】光刻工藝包括哪些工藝？
答案：
底膜處理、涂膠、前烘、曝光、顯影、堅膜、刻蝕、去膠、檢驗(yàn)
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問答題
【簡答題】何為分辨率、對比度、IC制造對光刻技術(shù)有何要求？
答案：
分辨率：是指一個光學(xué)系統(tǒng)精確區(qū)分目標(biāo)的能力
對比度：是評價成像圖形質(zhì)量的重要指標(biāo)
要求：分辨率越來越...
對比度：是評價成像圖形質(zhì)量的重要指標(biāo)
要求：分辨率越來越...
問答題
【簡答題】離子注入工藝需要控制的工藝參數(shù)及設(shè)備參數(shù)有哪些？
答案：
工藝參數(shù)：雜質(zhì)種類、雜質(zhì)注入濃度、雜質(zhì)注入深度
設(shè)備參數(shù)：弧光反應(yīng)室的工作電壓與電流、熱燈絲電流、離子分離裝置...
設(shè)備參數(shù)：弧光反應(yīng)室的工作電壓與電流、熱燈絲電流、離子分離裝置...
