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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】有哪些損傷類型？
答案：
損傷類型：空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結(jié)構(gòu)損傷。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是溝道效應(yīng)？
答案：
對(duì)晶體靶進(jìn)行離子注入時(shí)，當(dāng)離子注入的方向與靶晶體的某個(gè)晶向平行時(shí)，其運(yùn)動(dòng)軌跡將不再是無(wú)規(guī)則的，而是將沿溝道運(yùn)動(dòng)并且很少受...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】如何降低溝道效應(yīng)？
答案：
減少溝道效應(yīng)的措施：
（1）對(duì)大的離子，沿溝道軸向（110）偏離7－10o；
（2）用Si，Ge，F(xiàn)...
（1）對(duì)大的離子，沿溝道軸向（110）偏離7－10o；
（2）用Si，Ge，F(xiàn)...
