通過氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng),wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝
蒸鍍、濺射、分子束外延生長
所有相互平行,方向一致的晶向晶面,指數(shù)代表所有相互平行的一組晶面