問答題

【簡答題】化學(xué)氣象淀積是什么?

答案:

通過氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng),wafer表面淀積一層固態(tài)薄膜材料的工藝

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【簡答題】物理氣相淀積主要有哪三種技術(shù)?

答案:

蒸鍍、濺射、分子束外延生長

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【簡答題】晶向指數(shù)表示什么?

答案:

所有相互平行,方向一致的晶向晶面,指數(shù)代表所有相互平行的一組晶面

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