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問答題
【簡答題】鋁柵MOS工藝的缺點是什么？
答案：
制造源、漏極與制造柵極采用兩次掩膜步驟，不容易對齊
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問答題
【簡答題】MOS工藝包括有哪幾種？MOS工藝的重要參數(shù)是什么？什么是特征尺寸？
答案：
PMOS、NMOS、COMS、BiCMOS
溝道載流子特性、柵極材料、金屬層數(shù)、特征尺寸工藝可以實現(xiàn)的平面結(jié)構(gòu)的最小尺寸
問答題
【簡答題】與Si三極管相比，MESFET和HEMT存在哪些缺點？
答案：
（1）跨導(dǎo)相對低；
（2）閾值電壓較敏感于有源層的垂直尺寸形狀和摻雜程度；
（3）驅(qū)動電流?。?br />
（4）閾值電壓變化大。
