抗蝕劑中的小窗口會由于毛細(xì)作用而使得接觸孔不能被有效浸潤、被分解的材料不能被有效從反應(yīng)區(qū)中清除。
濕法刻蝕首先要用含有可以分解表面薄層的反應(yīng)物的溶液浸潤刻蝕面;
生成器件制造所需的材料