多項選擇題

下列屬于OECO電池片結(jié)構(gòu)的特點有()

A、通過對電池片表面進(jìn)行機(jī)械加工,可以得到深度約有30um的垂直的溝,機(jī)械加工后,為了消除損傷,進(jìn)行了蝕刻,也有再進(jìn)行紋理化的
B、在電池片表面的n+層上,形成很薄的氧化膜,然后再在與其上面垂直的溝的側(cè)面制備鋁電極,
C、因表面電極而引起的發(fā)電面積損失非常小,減反射膜性能好,電極和硅界面狀態(tài)良好,可以得到高的轉(zhuǎn)換效率
D、為了鈍化和防止反射,用PECVD法形成SiN膜

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