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判斷題
相比于立式開口體系,應(yīng)用臥式開口體系制備的薄膜均勻性更好。
答案:
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判斷題
相比于常壓化學(xué)氣相沉積,低壓化學(xué)氣相沉積成膜速率更快。
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單項(xiàng)選擇題
以下哪個(gè)化學(xué)氣相沉積合成方法要求雙溫區(qū)?()
A.氧化還原反應(yīng)
B.化學(xué)合成反應(yīng)
C.熱分解反應(yīng)
D.化學(xué)輸運(yùn)反應(yīng)
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