是指利用外延生長(zhǎng)的基本原理以及硅在絕緣體上很難核化成膜的特性，在硅表面指定區(qū)域生長(zhǎng)外延層而其他區(qū)域不生長(zhǎng)的技術(shù)。
絕緣層上進(jìn)行硅的異質(zhì)外延。
藍(lán)寶石上硅或者尖晶石的襯底上進(jìn)行硅的異質(zhì)外延。
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