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自摻雜效應(yīng)
答案:
在外延生長(zhǎng)過程中,襯底雜質(zhì)及其他來源雜質(zhì)因?yàn)闊嵴舭l(fā),或者化學(xué)反應(yīng)等非人為地參入外延層,改變了邊界層中的摻雜成分和濃度,從...
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名詞解釋
擴(kuò)散效應(yīng)
答案:
襯底雜質(zhì)與外延層雜質(zhì)相互擴(kuò)散,導(dǎo)致界面處雜志再分布的現(xiàn)象。
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異質(zhì)外延
答案:
外延層與沉底的材料不同。
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