名詞解釋

PECVD（等離子增強CVD）

答案：

RF激活氣體分子（等離子體），使其在低溫（室溫）下發(fā)生化學反應，淀積成膜。
題目列表

你可能感興趣的試題

名詞解釋

LPCVD（低壓CVD）
答案：

在27-270Pa壓力下進行化學氣相淀積。
名詞解釋

APCVD（常壓CVD）
答案：

氣相淀積在1個大氣壓下進行。
微信掃碼免費搜題