光學(xué)照相制版和光刻相結(jié)合的一種精密細微加工技術(shù)。
把工件非加工表面用耐腐蝕性涂層保護起來,需要加工的表面露出來,浸入到化學(xué)溶液中進行腐蝕,使金屬按特定的部位溶解去除。