名詞解釋

飽和蒸氣壓

答案：

在一定的溫度下，真空室內蒸發(fā)物質的蒸氣與固態(tài)或液態(tài)平衡時所表現(xiàn)出來的壓力。
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真空蒸發(fā)
答案：

利用蒸發(fā)材料在高溫時所具有的飽和蒸氣壓進行薄膜制備。
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物理氣相淀積（pvd）
答案：

利用某種物理過程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實現(xiàn)物質的轉移，即原子或分子由源轉移到襯底表面上，并淀積成薄膜。
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