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水汽氧化
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高溫下,硅片與高純水蒸氣反應(yīng)生成SiO
2
的過(guò)程。
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干氧
答案:
高溫下,氧氣與硅片反應(yīng)生成SiO
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的過(guò)程。
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名詞解釋
網(wǎng)絡(luò)改變劑
答案:
即間隙式雜質(zhì),如Na,K,Pb,Ca,Ba,Al等。
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