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核阻止機制
答案:
來自原子核之間的碰撞,屬于原子核之間的彈性碰撞??偰芰繐p失為兩者的和。
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離子注入的溝道效應(yīng)
答案:
當離子沿晶軸方向入射時,大部分離子將沿溝道運動,不會受到原子核的散射,方向基本不變,可以走得很遠。
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離子注入的晶格損傷
答案:
高能離子注入硅片后與靶原子發(fā)生一系列碰撞,可能使靶原子發(fā)生位移,被位移原子還可能把能量依次傳給其它原子,結(jié)果產(chǎn)生一系列的...
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