問答題

【簡答題】PECVD的機理？PECVD有何優(yōu)勢？

答案：

機理：等離子體由中性原子團、游離基、分子、離子、少量高能電子組成。
優(yōu)勢：可以較低溫度下淀積薄膜，常是低溫與低壓結(jié)合
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】淀積技術(shù)包括哪兩種？
答案： ①根據(jù)壓強分：常壓（AP）和低壓（LP） 
②根據(jù)反應(yīng)室壁冷熱分：熱壁和冷壁 
...
問答題

【簡答題】為什么要采用摻氯氧化，作用如何？
答案： 若在氧化中加Cl器件性能與潔凈度都會改善
作用：
A.減弱二氧化硅移動離子（主要鈉離子）玷污影響
微信掃碼免費搜題