名詞解釋

liga技術(shù)(X射線刻蝕電鑄模法)

答案:

是一種新型的三維超微細(xì)加工技術(shù),采用深度X射線光刻,電鑄成模或微塑造的方法,可以用來制作任意形狀的三維微細(xì)結(jié)構(gòu)。

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答案:

加工精度在10-0.1um,表面粗糙度值0.3-0.03um的加工技術(shù)。

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