是一種新型的三維超微細(xì)加工技術(shù),采用深度X射線光刻,電鑄成模或微塑造的方法,可以用來制作任意形狀的三維微細(xì)結(jié)構(gòu)。
加工精度在10-0.1um,表面粗糙度值0.3-0.03um的加工技術(shù)。