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雙膜理論中在膜層以外的氣、液兩相主體中,由于流體充分湍動(dòng),吸收質(zhì)濃度是不均勻的。
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吸附平衡關(guān)系由吸附過(guò)程的方向和極限決定的,是吸附過(guò)程的基本依據(jù)。
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CVD 裝置通??梢杂蓺庠纯刂撇考?、沉積反應(yīng)室、沉積溫控部件、真空排氣和壓強(qiáng)控制部件等部分組成。
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