問答題

【簡答題】外延有何應(yīng)用？

答案： ①雙極型電路A：n/n+外延 B： n/p外延
②MOS電路 外延膜的主要應(yīng)用是...
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【簡答題】簡述硅氣相外延的過程？
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在氣相外延生長過程中，有兩步：
質(zhì)量輸運過程－－反應(yīng)劑輸運到襯底表面
表面反應(yīng)過程－－在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)釋放出硅原子
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