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問答題

【簡答題】簡述光學光刻機的分辨率的計算。

答案：

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【簡答題】注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害處？如何避免？

答案：原因：在離子束的傳輸過程中，由于離子與殘余氣體分子的碰撞等原因，離子俘獲電子成中性原子
害處：中性原子不帶電，...

【簡答題】離子注入摻雜的優(yōu)點是什么？寫出CMOS集成電路制備工藝中用到的離子注入。

答案：

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