有一變間隙式差動(dòng)電容傳感器,其結(jié)構(gòu)如圖所示。選用變壓器交流電橋作測(cè)量電路。差動(dòng)電容器參數(shù):r=12mm;d1=d2=d0=0.6mm;空氣介質(zhì),即ε=ε0=8.85×10-12F/m。測(cè)量電路參數(shù):試求當(dāng)動(dòng)極板上輸入位移(向上位移)△x=0.05mm時(shí),電橋輸出端電壓Usc?
有一臺(tái)變間隙非接觸式電容測(cè)微儀,其傳感器的極板半徑r=4mm,假設(shè)與被測(cè)工件的初始間隙d0=0.3mm。試求: (1)如果傳感器與工件的間隙變化量△d=±10μm,電容變化量為多少? (2)如果測(cè)量電路的靈敏度足Ku=100mV/pF,則在△d=±1μm時(shí)的輸出電壓為多少?
在壓力比指示系統(tǒng)中采用差動(dòng)式變間隙電容傳感器和電橋測(cè)量電路,如圖所示。已知:δ0=0.25mm;D=38.2mm;R=5.1kΩ;Usr=60V(交流),頻率f=400Hz。試求: (1)該電容傳感器的電壓靈敏度Ku(V/μm); (2)當(dāng)電容傳感器的動(dòng)極板位移△δ=10μm時(shí),輸出電壓Usc值。