問答題

【簡答題】金屬導電層和絕緣介質(zhì)層兩部分組成什么系統(tǒng)？

答案：

多層互連系統(tǒng)
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【簡答題】干法刻蝕有哪幾種？相應(yīng)的內(nèi)容是什么？
答案： 物理性刻蝕、化學性刻蝕和物理化學性刻蝕。
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答案： 1）干法腐蝕是應(yīng)用等離子技術(shù)的腐蝕方法，刻蝕氣體在反應(yīng)器中等離子化，與被刻蝕材料反應(yīng)（或濺射），生成物是氣態(tài)物質(zhì)，從反應(yīng)...
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