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問答題
【簡答題】根據(jù)成像結(jié)果的不同，光刻膠可分為哪兩種類型，其中哪種成本較低且應用較早？
答案：
正光刻膠和負光刻膠；負光刻膠。
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問答題
【簡答題】顯影時，正膠和負膠的哪個區(qū)發(fā)生溶解？而哪個區(qū)則不會溶解。
答案：
正膠的曝光區(qū)和負膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解，而正膠的非曝光區(qū)和負膠的曝光區(qū)的光刻膠則不會在顯影液中溶解（或很少溶...
問答題
【簡答題】什么是CVD中的氣缺現(xiàn)象？解決氣缺現(xiàn)象的措施？
答案：
1）氣缺現(xiàn)象：一個入氣口的反應室，沿氣流方向反應劑不斷消耗，濃度降低，因此膜厚不均。當氣體反應劑被消耗而出現(xiàn)的反應劑濃度...
