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問答題

【簡答題】Wafer的中文含義是什么？目前常用的材料有哪兩種？

答案：

晶圓；硅和鍺

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【簡答題】外延工藝按方法可分為哪些？

答案：氣相外延、液相外延、固相外延和分子束外延

【簡答題】按制備時有無使用坩堝分為兩類，有坩堝分為？無坩堝分為？

答案：有坩堝：直拉法、磁控直拉法；無坩堝：懸浮區(qū)熔法