問答題

【簡答題】何謂 Bright field?

答案：接收反射光訊號的缺陷掃描機(jī)

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【簡答題】Defect Inspection tool 有哪些型式？

答案： Bright field & Dark Field

【簡答題】Defect result file包含那些信息？

答案：

① Defect大小
② 位置，坐標(biāo)
③ Defect map

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