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問答題
【簡答題】舉例說明用于微電子器件制造的主要襯底材料類型。
答案:
微電子器件的襯底材料主要有三種:
(元素)半導(dǎo)體(硅,鍺);
化合物半導(dǎo)體(砷化稼,磷化稼,磷化銦)...
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用“U”描述符來表示,將潔凈度定義為U(x),其中x是每立方米空氣中所允許的超細(xì)顆粒的最大數(shù)。
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名詞解釋
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答案:
最新的凈化空氣標(biāo)準(zhǔn)把直徑小于0.1um的顆粒一直到分立顆粒計數(shù)器能檢測到的最小顆粒都規(guī)定為超細(xì)顆粒
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