問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】舉例說(shuō)明用于微電子器件制造的主要襯底材料類(lèi)型。

答案：微電子器件的襯底材料主要有三種：
（元素）半導(dǎo)體（硅，鍺）；
化合物半導(dǎo)體（砷化稼，磷化稼，磷化銦）...

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U（x）

答案：用“U”描述符來(lái)表示，將潔凈度定義為U（x），其中x是每立方米空氣中所允許的超細(xì)顆粒的最大數(shù)。

超細(xì)顆粒

答案：最新的凈化空氣標(biāo)準(zhǔn)把直徑小于0.1um的顆粒一直到分立顆粒計(jì)數(shù)器能檢測(cè)到的最小顆粒都規(guī)定為超細(xì)顆粒

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