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單項(xiàng)選擇題
現(xiàn)代集成電路制造中，用于改變硅半導(dǎo)體的導(dǎo)電特性的一種表面改性技術(shù)，采用的是（）
A.電子束
B.離子束
C.激光束
D.熱噴涂
