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名詞解釋
10級(jí)0.3um
答案:
指每單位體積內(nèi)可以接受的0.3um顆粒的顆粒數(shù)不超過30個(gè)
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名詞解釋
1級(jí)凈化間
答案:
指每單位體積內(nèi)可以接受的0.5um顆粒的顆粒數(shù)不超過1個(gè)
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問答題
【簡(jiǎn)答題】解釋什么是靜電釋放,并給出在硅片制造中由ESD引起的三種問題及ESD的三中控制方法。
答案:
ESD是指靜電荷從一個(gè)物體向另一個(gè)物體末經(jīng)控制地轉(zhuǎn)移。
ESD的危害性:
會(huì)使硅表面形成電荷積累,吸...
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