問答題

【簡答題】化學(xué)氣相淀積（CVD）的概念，有哪五種基本化學(xué)反應(yīng)？

答案： （1）高溫分解：通常在無氧的條件下，通過加熱化合物分解
（2）光分解：利用輻射使化合物的化學(xué)鍵斷裂分解
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】簡述淀積膜的過程的三種不同階段
答案：

（1）晶核形成，成束的穩(wěn)定小晶核形成
（2）聚集成束，也稱為島生長
（3）形成連續(xù)的膜
問答題

【簡答題】簡述濕法腐蝕相比干法刻蝕的優(yōu)點
答案：

（1）對材料具有高的選擇比
（2）不會對器件帶來等離子體損傷
（3）設(shè)備簡單
微信掃碼免費搜題