問答題

【簡答題】簡述兩步擴散的含義與目的？

答案： 為了同時滿足對表面濃度、雜質(zhì)總量以及結深等的要求，實際生產(chǎn)中常采用兩步擴散工藝：第一步稱為預擴散或預淀積，在較低的溫度下...
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