名詞解釋

濺射鍍膜

答案： 濺射鍍膜是利用電場對輝光放電過程中產(chǎn)生出來的帶電離子進(jìn)行加速，使其獲得一定的動(dòng)能后，轟擊靶電極，將靶電極的原子濺射出來，...
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物理氣相沉積
答案： “物理氣相沉積”通常指滿意下面三個(gè)步驟的一類薄膜生長技術(shù)：A.所生長的材料以物理的方式由固體轉(zhuǎn)化...
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化學(xué)氣相沉積
答案： 化學(xué)氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產(chǎn)生反應(yīng)，在表面上以薄膜形式產(chǎn)生固態(tài)的副產(chǎn)品，其它的副產(chǎn)品是揮發(fā)性的會從表面離開。
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