首頁
題庫
網(wǎng)課
在線???/a>
桌面端
登錄
搜標題
搜題干
搜選項
0
/ 200字
搜索
判斷題
LPCVD緊隨PECVD的發(fā)展而發(fā)展。由660℃降為450℃,采用增強的等離子體,增加淀積能量,即低壓和低溫。
答案:
錯誤
點擊查看答案
在線練習
手機看題
你可能感興趣的試題
判斷題
與APCVD相比,LPCVD有更低的成本、更高的產(chǎn)量以及更好的膜性能,因此應用更為廣泛。
答案:
正確
點擊查看答案
手機看題
判斷題
APCVD反應器中的硅片通常是平放在一個平面上。
答案:
正確
點擊查看答案
手機看題
微信掃碼免費搜題