填空題

影響CZ直拉法的兩個主要參數(shù)是（）和（）。

答案： 拉伸速率；晶體旋轉(zhuǎn)速率
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填空題

CZ直拉法的目的是（）。
答案： 實(shí)現(xiàn)均勻摻雜的同時并且復(fù)制仔晶的結(jié)構(gòu)，得到合適的硅錠直徑并且限制雜質(zhì)引入到硅中
填空題

CZ直拉法生長單晶硅是把（）變?yōu)椋ǎ┎⑶遥ǎ┑墓腆w硅錠。
答案： 融化了的半導(dǎo)體級硅液體；有正確晶向的；被摻雜成p型或n型
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