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影響CZ直拉法的兩個主要參數(shù)是()和()。
答案:
拉伸速率;晶體旋轉(zhuǎn)速率
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填空題
CZ直拉法的目的是()。
答案:
實(shí)現(xiàn)均勻摻雜的同時并且復(fù)制仔晶的結(jié)構(gòu),得到合適的硅錠直徑并且限制雜質(zhì)引入到硅中
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CZ直拉法生長單晶硅是把()變?yōu)椋ǎ┎⑶遥ǎ┑墓腆w硅錠。
答案:
融化了的半導(dǎo)體級硅液體;有正確晶向的;被摻雜成p型或n型
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