填空題

集成電路的基本制造工藝是：首先是對(duì)圓柱形的單晶硅進(jìn)行切片，生產(chǎn)大片的（），并在其上制造出大量電路單元，然后按照制造的電路單元被切割成方形的（）。

答案： 圓片；基片
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