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問答題
【簡答題】異質(zhì)基片上高品質(zhì)疊層的多晶硅型薄膜技術(shù)有幾種方法？
答案：
目前廣泛有：化學(xué)氣相沉積法（CVD.、液相外延法（LPE.、固相結(jié)晶化法（SPC.
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問答題
【簡答題】在多晶硅電池片上用等離子體進(jìn)行的化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)的氮化硅膜會產(chǎn)生哪兩種效果？
答案：
兩種效應(yīng)：首先使用等離子體對氫進(jìn)行活化，然后對晶粒進(jìn)行鈍化。晶界產(chǎn)生的電子能級，在激發(fā)下生成載流子，不僅能使短路電流密度...
問答題
【簡答題】多晶硅鑄模的制造成技術(shù)有哪些？
答案：
大部分多晶硅基片都是用所謂的鑄造法生產(chǎn)的，基片廣泛使用10~15cm的角。廣泛采用光電導(dǎo)率衰減測定法測定少數(shù)載流子在基片...
