問答題

【簡答題】Laser mark是什么用途? Wafer ID 又代表什么意義?

答案：

Laser mark 是用來刻wafer ID, Wafer ID 就如同硅片的身份證一樣,一個ID代表一片硅片的身份。

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【簡答題】為何需要zero layer？

答案：

芯片的工藝由許多不同層次堆棧而成的, 各層次之間以zero layer當(dāng)做對準(zhǔn)的基準(zhǔn)。

【簡答題】Wafer下線的第一道步驟是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是為何？

答案：

①不希望有機(jī)成分的光刻膠直接碰觸Si表面。
②在laser刻號過程中，亦可避免被產(chǎn)生的粉塵污染。