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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】增層工藝主要包括哪些方式？
答案：
實(shí)現(xiàn)方式分：生長(zhǎng)法（氧化工藝、氮化硅工藝）和淀積法（CVD、蒸發(fā)工藝、濺射工藝）
