A.等離子體刻蝕B.等離子體檢測C.等離子體化學(xué)氣相沉積D.濺射成膜
A.電離、復(fù)合B.附著、離脫C.碰撞、激發(fā)D.擴(kuò)散、遷移
A.高溫等離子體-地球自然界B.高溫等離子體-太空C.低溫等離子體-地球自然界D.低溫等離子體-人工制造