單項(xiàng)選擇題

以下哪個(gè)不屬于等離子體利用氣-固相反應(yīng)發(fā)生的應(yīng)用?()

A.等離子體刻蝕
B.等離子體檢測
C.等離子體化學(xué)氣相沉積
D.濺射成膜

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