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【簡答題】試述曝光時(shí)間對(duì)設(shè)計(jì)的圖形的影響。
答案:
曝光時(shí)間對(duì)設(shè)計(jì)圖形的影響主要是:若曝光時(shí)間較長,對(duì)于正性光刻膠則得到的圖形實(shí)際尺寸比預(yù)先設(shè)計(jì)的可能要?。粚?duì)于負(fù)性光刻膠情...
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【簡答題】光刻膠正膠和負(fù)膠的區(qū)別是什么?
答案:
正性光刻膠受光或紫外線照射后感光的部分發(fā)生光分解反應(yīng),可溶于顯影液,未感光的部分顯影后仍然留在晶圓的表面,它一般適合做長...
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答案:
涂光刻膠,曝光,顯影,腐蝕,去光刻膠。
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