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填空題

雜質(zhì)原子（或離子）在半導體晶片中的擴散機構(gòu)比較復雜，但主要可分為兩種機構(gòu)：替位式擴散和（）式擴散。

答案：間隙

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入射離子的兩種能量損失模型為：核碰撞和（）碰撞。

答案：電子

負膠適于刻蝕（）（細/粗）線條。

答案：粗

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