問答題

【簡(jiǎn)答題】明兩步擴(kuò)散法的基本思想，及其每一步工藝的主要特點(diǎn)和目的。

答案： 第一步：恒定表面濃度的擴(kuò)散（預(yù)沉積擴(kuò)散Pre-deposition）；
目的：控制摻入的雜質(zhì)總量；
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問答題

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問答題

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對(duì)于恒定表面源擴(kuò)散，由于...
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